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自动涂布机操作步骤

来源:www.czhxyc.com 发表时间:2019-01-23

自动涂布机操作步骤:      

(1) 首先将PUMP的电源插头插入涂布机后面的电源插座。    

(2) 将涂布机插头插入110V的电源插座,然后按下[POWER]键。    

(3) 设定旋转的转速及时间,本机型为二段式加速的Spin Coating,右边为第一段加速,左边为第二加速。    

(4) 依不同尺寸的基材,可更换不同的旋转转盘做徒步的动作。   

(5) 按下[PUMP]键,此时旋转转盘会吸住基材,然后将光阻依螺旋状从基材中心均匀且慢慢的往外涂开至适当的量,在做光阻涂开动作时可先用氮气将旋转转盘周围及基材吹乾净。    

(6) 盖上涂布机的保护盖,以防止光阻溅出涂布机外。   

(7) 按下[START]键,涂布机便开始做涂布的动作。    

(8) 涂布完毕后,打开保护,按下[PUMP]键旋转转盘会放开基材,便可以将基材取出。

  

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